“我们不仅缺‘芯’，更重要的是缺‘气’”
——我国工业气体行业发展亟待突破高端特气瓶颈
“最近发生的中兴事件让我们看到了我国缺‘芯’的问题，事实上我们不仅仅是缺‘芯’，更重要的是缺‘气’。要知道，芯片的生产制造也离不开我们工业气体。”当苏州金宏气体股份有限公司董事长金向华结合时下热议的“中兴事件”谈及我国工业气体行业发展现状时，一句“缺气”的总结使得与会人士都备受触动。
金向华是在4月26日至27日在上海举行的中国工业气体工业协会第28次会员代表大会暨2018年年会的综合论坛上发表上述观点的。中国工业气体工业协会的统计数据显示，我国工业气体总产值增长率均达12%以上，与国家GDP增长率保持两倍左右的正相关关系，气体业务外包占比50%左右，预计2018年将达到1400亿元。
“改革开放40年来，我国工业气体工业取得了长足的进步，但我们同时也要看到，在高端产品，尤其是特气（特殊气体）方面，国内的企业实力还比较弱，很多产品几乎都被外资企业所垄断。”中国工业气体工业协会秘书长洑春干告诉记者，目前电子芯片生产用的特气，我国仅能生产约20%，其余全部依赖进口。
电子气体国产化迫在眉睫，是与会代表达成的共识。“中国必须掌握电子气体核心技术。”洑春干呼吁国内企业加大自主创新，用实际行动为“中国芯”打气。
行业面临转型升级
“40年前，我国自主知识产权的板翅式换热器专有技术出口到发达国家，该技术填补国内空白，结束了板式全进口的历史。”说起改革开放之初，我国的空分（空气分离）设备第一次出口的历史，杭州氧气股份有限公司（以下简称杭氧）设计院主任张震仍然难掩自豪之情。
中国工业气体协会的前身就是成立于1987年的全国空分气体行业联谊会，空分行业也一直被看做是工业气体行业发展的“晴雨表”。历经40年的发展，我国的空分设备已经取得了长足的进步，作为我国空分设备的领军者，杭氧已经在今年与神华宁煤研发的神华宁煤10万等级空分设备实现了10万等级空分设备设计制造、调试和运行技术的突破，使得“国产10万等级空分设备实现了从‘百米跑’到‘马拉松’的跨越。”
“随着10万以上等级空分技术上的全面突破，空分等级不再是制约我国空分技术发展应用的因素，且大大提升了用户对国产装备的信心，为实现特大型空分系统全国产化推广应用奠定了基础。空分技术发展将继续带动空分下游相关配套厂商的配套能力和水平的不断升级。将形成相互促进发展的良性循环。”张震说，未来5年，中国空分市场继续向大型化迈进，对7万等级以上空分的需求达到60多套，超过480万Nm3/h（氧），具有近200亿元的市场，空分技术的发展具有不竭的驱动力。
空分技术的发展是我国整个工业气体行业的一个缩影。目前，全行业形成了一个类似金字塔式的供气模式和竞争格局，塔尖是管道气现场制气，几乎为外资所垄断；中间层是液态气体，外资与国企、民企充分竞争；塔底是钢瓶气，其中大宗气体3000多家民企充分竞争，小而散，特气外资主导、部分国内企业实现突破。
“随着环保要求升级和行业竞争加剧，工业气体行业面临转型和洗牌，要摒弃恶性竞争，用创新逐步填补国内相关产品的空白。”金向华说。
缺“气”局面亟待突破
尽管在钢瓶气等传统及中低端产品方面，我国已经形成了规模优势，但在高端气体尤其是特气方面，我国的差距还是比较明显。“特气是新兴门类，在特定领域应用。目前外资在产品质量和产业规模上均具有较大优势，国内还有很多特气不能生产，很多产品还处于进口替代过程中。”广东华特气体股份有限公司总经理傅铸红透露，目前全国的工业气体中特气占比15%，特气中一半是电子特气。
据洑春干介绍，电子气体作为极大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料之一，被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，没有这些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太阳能产品就无法制造。据业内不完全统计，2016年我国晶圆制造电子材料市场总额达343.03亿元，较2015年增长6.9%，预计2017年将达359.36亿元。未来中国基于广大的市场消费群体，预计仍将保持增长态势。
经过近10年发展，国内电子气体行业涌现了一批生产质量稳定，能够被半导体客户接受的电子气体生产企业。从2012年至2016年，国内电子气体企业生产销售额占中国晶圆制造电子气市场需求由3.8%增加至25.0%，预计2017年将增加至28.4%。国内电子气体市场接近全球的1/3，而且比例还在不断提高，但国内自给率却非常低，近八成产品依赖进口。
“有些电子气体国内并不是完全不能生产，但在技术精益性上与国际先进水平有差别。譬如氯化氢，国内企业也可以做到水分含量只有0.1ppm，但难以确保质量恒定在高水平。”傅铸红说。
据了解，国家对电子气体的发展一直比较重视，仅去年就出台了多项鼓励政策。譬如科技部印发的《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》提到要重点研发超高纯电子气体；发改委印发的《增强制造业核心竞争力3年行动计划（2018～2020年）》提到了高纯氯气、氯化氢、等系列电子特气。“我们应抓住时机，通过自主创新，增加产品种类，提高国产化率，争取早日解决缺‘气’的瓶颈和制约。”洑春干说道。
《中国质量报》本报记者 徐建华